二手 HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H #9237189 待售
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已售出
ID: 9237189
优质的: 1991
Furnace
Process: PYRO
No alarm
Inlet:
Power:
Heater: 1 ¢, 208 V, 142 A
Main: 1 ¢, 120 V, 42 A
Blower: 3 ¢, 208 V, 2 A
Gases:
N2: 1/4 VCR Male
H2: 1/4 VCR Male
O2: 1/4 VCR Male
HCL: 1/4 VCR Male
CDA: 1/4 LOCK Male
Vacuum: 1/4 LOCK Male
VENT: 1/4 VCR Male
Outlet exhaust drain:
PCW: (2) 1B Union male
Exhaust:
Gas box: 150 ¢
Heater: 150 ¢
Process: 40 ¢
Drain: 3/8 LOCK Female
Damaged part: Drain nozzle
1991 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H是一种最先进的扩散炉和配件,专为处理最困难的应用而量身定制。HITACHI DD-802V-H是由适用于2200°C温度下扩散过程的耐高温材料构成的。这样可以更快地降低能耗,并消除维护成本。该炉具有用于控制温度均匀性和低均匀性误差的绝缘钨丝，以及带有两组热电偶的扩散模块，用于精确的温度测量。KOKUSAI DD-802V-H具有三区温度控制功能，有助于在整个晶圆中产生高质量的扩散。加热区还有助于减少热应力造成的变形。DD-802V-H具有先进的高温安全和抗氧化特性，可延长运行时间，提高效率。高温计设备由四个热电偶、四个独立的过温传感器和两个温度读数可达1650 °C的高温计头组成。工艺气体在炉内循环，以提高温度均匀性和均匀掺杂浓度。另外，该炉具有防氧化系统，通过调整传送机方向和气体在扩散过程中流动，保护晶片免受氧化损伤。HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H还配备了一个专利的半封闭均质气体装置，可最大程度地减少气体泄漏和交叉污染。这台机器消除了对手动控制工具的需求,从而提高了效率,减少了操作错误。此外,HITACHI DD-802V-H能够收集工艺日志,从而使用户能够跟踪制造过程中的温度和流速。总体而言，KOKUSAI DD-802V-H是一种尖端的扩散炉，由于其先进的安全性和抗氧化特性，加上气体泄漏最小化和温度均匀性和控制的提高，为用户提供了更高的效率和降低的成本。此模型为希望以最高质量制造某些要求最苛刻的产品的用户提供了强大而可靠的解决方桉。
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