二手 HITACHI / KOKUSAI DD-803V #293633553 待售
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ID: 293633553
晶圆大小: 8"
优质的: 1998
Vertical furnace, 8"
Atmospheric controller
Hand controller
CX2000 Controller
SECM / GEM Communication: Serial
Utility cabinet
CQ1501 Temperature controller
(4) Zones
D4EX02728 Heater
Process temperature: 700°C-1000°C
Flatzone length: 952.50 mm
Process tube material: Quartz
Wafer boat material: Quartz
Tube seal configuration: N2 Flow
R-Type thermocouple
Exhaust controller
Transformer
Temperature control:
P: 0.1~200%
I: 0.01-100.00 min
D: 0.00-10.00 min
Load station:
WIP Carrier capacity: 16
Wafer spacing: 5.20 ±0.05 mm
Load size: 150-Slots
Boat rotation
Process gas control system:
External torch
H2 Burn off
Bubbler
Process gas (Atmosperic):
MFC Model: SEC-Z500, SEC-4500, SEC-4400 / Analog
Process gas: N2, H2, Ar, O2, N2O
SCHUMACHER ATCS 15 Bubbler system
Other gases: UN2 (Air/N2)
Input power supply:
Heater: 208VAC, 50KVA, Single phase
Controller: 100VAC, 4KVA, Single phase
Clean Unit: 100VAC, 1.5KVA, Single phase
Start-up PSU: 24VDC
1998 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-803V扩散炉是半导体制造商先进、可靠、高效的工具。该炉采用气流型设计，可进行多种高温扩散过程。它提供高速、高可重复性和冷却功能。该炉包括气流型设计，它允许材料的安全和均匀的加热和冷却。它还包括多个控制器，包括温度控制器、流量控制器和压力控制器。该炉的温度范围很广，能够在高达1500 °C的温度下运行。它具有先进的搅拌和溷合技术，允许热量在材料中的均匀分布。该炉还有一个保护性石英管，使其能够在真空环境中运行。炉子配有架空机械系统，设计方便炉子元件的移动和装载。该炉还包括若干安全特性，如内置隔热系统和过温报警。该炉还包括一些额外的功能，如计时器、低温报警器、高温报警器和清除计时器。该炉还具有自动化控制系统，允许对过程进行微调控制。HITACHI DD-803V扩散炉也有多种配件，如冷却套件、缓冲卡盘和隔离器。冷却包使炉子能够快速高效地冷却，而缓冲的卡盘有助于将基板牢固地固定在炉子中。隔离装置用于保护基板免受污染。总体而言，KOKUSAI DD-803V扩散炉是一种可靠、高效、安全的半导体制造工具。它提供了广泛的温度范围，先进的搅拌和溷合技术，多个控制器，和各种配件，以确保均匀扩散过程。
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