二手 HITACHI / KOKUSAI DD-803V #293633554 待售
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ID: 293633554
晶圆大小: 8"
优质的: 1998
Vertical furnace, 8"
Atmospheric controller
Clean unit controller
CX2000 Controller
Utility cabinet
CQ1501 Temperature controller
(4) Zones
D4EX02728 Heater
Process temperature: 700°C-1000°C
Flatzone length: 952.50 mm
Process tube material: Quartz
Wafer boat material: Quartz
Tube seal configuration: N2 Flow
R-Type thermocouple
Exhaust controller
SECM / GEM Communication: Serial
Temperature control:
P: 0.1~200%
I: 0.01-100.00 min
D: 0.00-10.00 min
Load station:
WIP Carrier capacity: 16
Wafer spacing: 5.20 ±0.05 mm
Load size: 150-Slots
Boat rotation
Process gas control system:
External torch
H2 Burn off
Bubbler
Process gas (Atmosperic):
MFC Model: SEC-Z500, SEC-4500, SEC-4400 / Analog
Process gas: N2, H2, Ar, O2, NO
SCHUMACHER ATCS 15 Bubbler system
Other gases: UN2 (Air/N2)
Input power supply:
Heater: 208VAC, 50KVA, Single phase
Controller: 100VAC, 4KVA, Single phase
Clean Unit: 100VAC, 1.5KVA, Single phase
Start-up PSU: 24VDC
Handler missing
1998 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-803V扩散炉及其附件为退火、烧结和扩散应用提供了一个全面的解决方桉。这种扩散炉设备由全自动的精确加热和冷却平台（HCP）和可靠的动作性能构成，适用于各种材料和工艺。HITACHI DD-803V是一款用途广泛、应用广泛的机器。它有四个室，包括一个炉室、一个冷却室和两个辅助设备。该炉室具有多种特点，如数字温度控制器、强制空气循环和整体冷却室。冷却室为各种材料和工艺提供了一种有效的冷却方法。无论使用或不使用惰性气体，例如氙气，它都能有效地工作。KOKUSAI DD-803V围绕坚固的金属框架构建,即使在恶劣的工作环境中也能持久耐用。它配备了强大的陶瓷绝缘，提高了性能，最大限度地降低了维护和能源成本。该炉由用户友好的基于触摸的界面控制，便于安装和操作。此外，由于其内置的安全机制，熔炉仍然安全，可以在广泛的环境中使用。DD-803V扩散炉和配件的设计满足许多材料和工艺的需要和要求，包括半导体和太阳能电池的生产、研发、薄膜应用和医疗设备制造。多区处理系统（MPS）提供对过程温度和环境条件的高级控制,确保精确和一致的结果。炉膛的均匀性由高性能加热控制单元维持，具有可调区域控制和可选的自动再生机器。除熔炉外，HITACHI/KOKUSAI DD-803V扩散炉及配件还包括一些有用的配件。示例包括配电单元、负载单元平台、固定系统、惰性气体外壳以及用于高级控制和监控的可编程逻辑控制器。HITACHI DD-803V具有精确的温度控制、卓越的均匀性和可靠性以及全面的安全特性,非常适合精确的工艺和敏感组件。
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