二手 HITACHI / KOKUSAI DD-812V #9211006 待售

HITACHI/KOKUSAI DD-812V是一种用于半导体器件制造的扩散炉及附件。它是一种垂直式炉，配有三种加热元件的热区：石墨电阻加热器、石英卤素灯和红外陶瓷加热器。炉温可达1000 °C，具有高热均匀性。具有优良的环境特性，适用于半导体外延沉积。它具有最先进的三维气体分配设备和动态调节，允许精确和稳定的气体分布整个过程周期。该系统能够进行精确的气流控制，允许各种过程。此外，流量控制气体的流量可以调整，以满足特定的沉积条件。热区由上部和下部两部分组成。上部用于加热晶片，下部用于控制工艺气氛。该炉配有高端微处理器控制器，可实现最佳工艺控制和精确温度控制。易于使用的控制器支持50多种配方，允许100个同时编程。而且炉子还配有广泛的配件，包括燃气面板、高效排气单元、石英管加热器等。气体面板有助于控制输入气体流动，并提供精确的气体分配机。排气工具有助于清除资产中的蒸气和气体，以保持清洁的工作环境。石英管加热器有助于保持沉积表面的温度恒定。该炉的设计是为了提供最大的工艺效率和良好的工艺控制。它具有超高分辨率摄影功能,以及可靠的安全模型,可防止未经授权的访问。该设备由提供日常维护和支持的综合服务计划提供支持。HITACHI DD-812V是现代半导体器件制造的理想选择。它是为提供精确的温度控制和最高的过程性能和最大的可靠性而设计的。其典型的应用包括肖特基屏障、欧姆接触和外延层的生长发育。