二手 HITACHI / KOKUSAI DD-812V #9239651 待售

HITACHI / KOKUSAI DD-812V
ID: 9239651
晶圆大小: 6"
优质的: 2011
Vertical diffusion furnace, 6" 2011 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-812V是一种扩散炉及配件设备,设计用于提供对半导体等行业中使用的扩散炉的精确控制。它便于轻松、准确的操作,以最小的停机时间确保最大的工作效率和可靠性。该炉有能力和多用途的设计,并允许在批量或连续模式加热。其自动温度控制系统配有高精度温度传感器,允许精确稳定的温度。利用内置电源,通过灵敏的温度控制可以精确调节温度,通过提高工艺可重复性来节省成本。除了熔炉本身之外,该系统还包括各种组件,包括气体喷射器、压力传感器、风扇和其他外围设备。气体喷射器将气体有效地分配到炉膛中,炉膛由文丘里喉咙组成,也可用来清除含氢气体。压力传感器测量气体压力,可以作为检测和纠正处理过程中气体供应误差的手段。其他附件包括工艺料斗、消声器、感光器、工作站托架、腔室装配和工艺控制系统。此外,HITACHI DD-812V旨在减少颗粒污染,优化室内温度均匀性,创造一个更好的工艺环境。这在涉及超高密度晶圆制造和加工的应用中尤为重要。它还具有一个全面的远程监控和诊断单元,能够持续监控设备的最佳性能。总体而言,HITACHI的KOKUSAI DD 812V机是一种先进而可靠的扩散炉,其设计目的是在最小的停机时间内提供精确的控制。它提供了广泛的可调变量、灵活的元件和改进的工艺可重复性,确保了半导体和其他工艺行业的最佳效果。
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