二手 HITACHI / KOKUSAI DD-812V #9397458 待售
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ID: 9397458
优质的: 2007
Vertical diffusion furnace
Robot: NG
(4) Resistance heating cartridge heater zones
Effective area: φ276 mm
Heat uniformity length: 800 mm (heater stand alone)
Operating temperature range: 400°C~850°C
Quartz incorporated (wafer fully charged)
Heat equalization length: 740 mm
Operating temperature range: 400°C - 500°C
Cassette shelf: (3) Rows x (3) columns
Cassettes: 9"- 6"
Maximum power consumption: 800°C
Power supply: 200 V, 3.6 kW, 3-Phase
2007 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-812V扩散炉设计用于氧化和快速热退火应用。它采用直径8英寸的石英管，具有良好的均匀性和严密的工艺控制。该炉可处理氧化物和氮化物薄膜。其高达1250°C的高温能力和+/-0.1°C的可重复性精度确保了要求苛刻的工艺（如半导体器件制造）的可靠和一致的结果。HITACHI DD-812V具有独特的区域控制设备,允许精确的加热剖面进行过程优化。它配备了两个独立控制的加热器和两个石英管架，允许在从室温到1250°C的过程温度下运行。该炉还通过警报、热计数器和过程控制逻辑提供全面的监测。KOKUSAI DD 812V配有涡轮泵、背衬泵、石英铃罐、寒板和脚踏板控制器等多种配件。涡轮泵允许在氧化过程中高效去除气体分子，而背衬泵则防止进气。石英钟形罐用于确保工艺环境得以维持，而寒板则降低了热冲击的风险。最后，脚踏板提供额外的控制，让你能够精确地调整热量设置和启动/停止炉。DD 812V提供全面的安全功能,包括过温保护和热联锁系统。这样可以确保过程保持安全和稳定,即使在长期运行的过程中也能进行可靠的操作。该设备还能够存储多达十个操作菜单,并且可以记录多达三个温度配置文件。HITACHI DD 812V扩散炉是一种强大可靠的机器，对氧化物和氮化物薄膜具有良好的工艺控制和可重复性。它易于使用的控制和功能,加上先进的安全功能,使其成为各种扩散和退火过程的理想选择。
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