二手 HITACHI / KOKUSAI DD-833V-8B #9281053 待售

HITACHI/KOKUSAI DD-833V-8B是一种先进的扩散炉及配件，为包括金、铝、硅、铜沉积在内的各种工艺提供完整的解决方桉。扩散炉采用多区控制，提供精确的控制和可重复的精度。先进的功能提供精确的温度控制和快速的加热时间，同时还允许材料厚度和均匀性层之间。它可以加工尺寸达8英寸的基板，温度范围可以设定在70°C-1200 °C。它还具有压力敏感涂层工艺和多区可编程控制，以尽量减少热梯度。HITACHI DD-833V-8B的精细温度控制允许更高的沉积速率，是半导体器件凸起应用的理想选择。该炉还设有氧化相控制设备（OPCS），用于可重复氧化。加热器是一种高频感应类型,它允许均匀的镀热分布,而CR横向传感器（x2）确保精确的温度读数。在炉顶，一个由石英玻璃制成的视口在高温下提供了极好的能见度。KOKUSAI DD-833V-8B还具有在厚基板上工作的墙面老化系统，并利用调制的射频电源和高级c模式程序进行高密度掺杂。温度测量由一个高性能的热传感器单元提供，允许炉子的精确温度设置。DD-833V-8B与包括阳极法兰、可旋转阳极驱动臂组件、高温电馈通、软管和连接电缆在内的基本附件套件捆绑在一起。综合控制机包括高分辨率、彩色液晶显示屏、HI/LO热、斜坡时间、总工序时间、视觉工序历史、5轴运动控制、多功能Function Key操作。总体而言，HITACHI/KOKUSAI DD-833V-8B是一种先进的扩散炉和各种工艺的附件工具。它具有多区域控制、精确温度控制、OPCS、HFIC加热、墙面老化资产和基本附件套件。综合控制模型提供了所有必要的工具，以确保高效和可重现的过程输出。