二手 HITACHI / KOKUSAI DD-833V #293749184 待售

HITACHI/KOKUSAI DD-833V是一种扩散炉及附件设备,旨在为广泛的应用提供高精度温度控制。它利用一个垂直的石英管通过一个气体溷合物来实现晶圆的均匀加热。大的内径允许大批量晶片和层厚度同时处理，而高温精度则可以精确控制传递时间和传热。扩散炉是一个三轴模型，以光学高温计为特征，在多个区域精确监测和控制温度。它还包括一个用于温度控制的石英管保护器、一个石英室和一个石英钟形罐。该炉由高质量、耐腐蚀的不锈钢打造而成，并配有半导体功率调节器、电子压力监控器、紧急关闭和电平指示器。HITACHI DD-833V的附件包括真空室、涡轮分子泵、旋转驱动、安全阀、流量控制器、压力开关、压力表和晶圆热探测器。真空室有助于消除扩散炉过程中空气的存在，确保高质量的结果。涡轮分子泵在高速作用下泵出扩散炉的气体，而旋转驱动则是在处理扩散炉内部的晶片时转动晶片。随附的安全阀设计用于在需要时快速限压，流量控制器确保气体溷合物被精确调节。压力表和压力开关设计用于监测和控制处理过程中的压力水平。晶圆热检测器提供晶圆温度的视觉反馈。此外,KOKUSAI DD 833V包括两个冷却系统和一个温度控制器。第一个冷却系统安装在排气歧管中，设计用于快速冷却离开扩散炉的气体溷合物。第二个单元是干式冷却，温度控制器有助于在50至1000°C的范围内精确调节温度。HITACHI DD 833V扩散炉及附件机提供温度和热参数流动的精确控制，是广泛应用的理想选择。