二手 HITACHI / KOKUSAI DD-833V #9161747 待售

HITACHI/KOKUSAI DD-833V是专为控制各种半导体材料热处理而设计的高性能扩散炉。这种强大、高效的炉具有独特的三区排气系统，提供最大的热处理效率和灵活性。该系统经过设计，可在各种不同的温度范围和化学大气中运行，非常适合高温掺杂和退火工艺以及生产多层金属化结构等应用。扩大的热区灵活性进一步提高了对加工温度的控制，从而提高了工艺的可重复性和可重复性。HITACHI DD-833V具有从低热反应到高达1150°C的高温范围。由于采用了独特的分离式红外辐射加热系统，使三个独立控制的加热区能够在整个炉子内保持均匀温度。每个区域都配有一个独立的红外辐射元件控制器，该控制器在+/-3°C精度范围内精确控制每个区域的温度。KOKUSAI DD 833V装有一个内置冷却风扇，该风扇旨在有效地排出热过程产生的烟雾和烟雾。该冷却风扇还有助于维护用户的安全工作环境。通过炉子自动控制/调节空气流量的机制，进一步保证了供给炉子的气体质量。DD 833V标配各种配件和可选功能,如除去热工艺产生的氧气或副产品的洗涤器、用于连接可选洗涤器和炉子的各种气体管线,以及用于保护晶片不被过度加工或燃烧的石墨氧化铝和陶瓷材料。KOKUSAI DD-833V是一种功能强大的扩散炉,旨在为用户提供通用的工艺能力、改进的热处理性能和最高的操作员安全级别。配备坚固的结构和高温范围，HITACHI DD 833V是满足半导体生产需求的理想工具。