二手 HITACHI / KOKUSAI DD-833V #9238011 待售
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ID: 9238011
晶圆大小: 6"
Diffusion furnace, 6"
Process: PYRO (DCE)
Process gas: N2, H2, O2, DCE
Loading system:
Front operation panel
Pass box (Load lock): Cassette loader
CX 3002 Main controller
CX 1220 Mecha controller
Wafer counter, 6"
I/O Stage check: Air off
Cassette loader check: CX 3002
Furnace system:
CQ 1500 (DN-150) Temperature controller
D4EX 05414 Heater
SIC Profile
(4) Controllers
(4) Monitors
Gas system:
CX 1311 MFC Controller
MFC (STEC):
Missing MFC1
MFC2: H2 20SLM
MFC3: O2 20SLM
Model / Gas
MFC4 / O2 2SLM
MFC5 / N2 1SLM
MFM: N2 10SLM
(2) Filters
Pressure control system:
AERA RC-100F Pressure controller
Valve open / close check: APC Valve area RV-100
Burning system:
CX 1310 Burn controller
Power:
Heater: 3Φ, AC 200 V, 42 kVA
Control: 1Φ, AC 100 V, 30 A
Clean unit: 1Φ, AC 100 V, 40 A
ETC: DCE Power 1Φ, AC 100 V, 5 A.
HITACHI/KOKUSAI DD-833V是一种扩散炉和附件,旨在为各种尺寸、形状和等级的金属和合金提供精确可靠的扩散。其多才多艺的设计使其可用于熔融、合金沉积、真空合金等多种类型的工艺，以及其他各种扩散工艺。HITACHI DD-833V扩散炉包括一个双壁炉体和一个用于加热的中央真空室，它被一个用来防止热量损失的外壳所包围。该炉的设计目的是提供高达1350°C的温度，并能够在扩散过程中保持受控的气氛。该炉配有精密自动控制系统，使用户能够通过数字显示器精确调节温度，便于控制。KOKUSAI DD 833V还配备了多种配件，可用于各种应用。它包括各种crucibles和托盘，包括一个大托盘，允许各种形状和尺寸的材料进行处理。该炉还包括一个高精度的送粉机，使其能够精确地将粉末沉积到基板上，实现精确的扩散。HITACHI DD 833V具有高度可靠和耐用的特点,因为它的重型设计允许炉子连续运行数小时而无需任何维护。它的设计也是安全可靠的，增加了一个防止任何潜在事故或故障的双壁外壳。该炉还配备了多种传感器和监控器，使用户能够持续监测炉内的温度和大气。DD 833V扩散炉设计精确度和可靠性，提供各种金属和合金的精确扩散。它易于使用、安全、耐用性强，非常适合扩散行业的各种应用。
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