二手 HITACHI / KOKUSAI DD-853 #293643214 待售
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ID: 293643214
晶圆大小: 8"
System, 8"
Process: J2 Pyro
Gas supply: Bottom
PCW Supply: Bottom
Controller power: 120 VAC, Single phase
Heater power: 208 VAC, Single phase
Hard Disk Drive (HDD)
Power box
Heater upper cover
Gases: N2, H2, O2, TLC (DCE)
Torch heater
CX1317 Torch controller
ATCS-15 SCHUMACHER
CQ1600 Temp controller
PLC OMRON
CX3202 Gas controller
Gas box
Gas box DCE Line
CX3002/B Main controller
D4EX05486 transformer
SIC Liner tube
SIC Boat
SIC Boat cap
SIC Boat Pin
SIC Torch liner tube
Temperature controller:
Heater controller
Heater over
Driver mechanisms:
I/O Shutter
I/O Stage
FOUP Loader ARM
Wafer detection: 25 Uin
Wafer transfer
1+4 Ceramic fork
Boat elevator
Sealcap
Turntable
Pendent
No heater
Racks:
(4) Lower 2
(5) Upper 2
(2) Sub 2
Gas supply:
MFC
Valve
Torch unit
ATCS-15 Absolute temperature control system
Drivers:
E-Axis motor
R-Axis motor
Z-Axis motor
X-Axis motor
Y-Axis motor
V-Axis motor
CS-Axis motor
CZ-Axis motor
CX-Axis motor
CY-Axis motor
OR-Axis motor
Exhaust system:
HORIBA STEC EC-5000 / PVU-3000 Exhaust APC Valve
Pressure sensor.
HITACHI/KOKUSAI DD-853是一种扩散炉和配件，在使用它进行扩散和退火过程时为用户提供高水平的用户控制和性能。HITACHI DD-853配备了独特的、高精度的控制设备，可以对温度、定时和气体纯度进行严密控制。炉体由耐用的高端材料构成，旨在保护工艺和环境不受过度磨损。KOKUSAI DD-853的中心是一个垂直安装的单室线圈型石英反应堆。这种垂直定位使扩散和退火过程具有卓越的性能。该炉的温度可达1450°C，可提供最大3.2kW功率。温度均匀性保持在家具主体长度上下+/-5°C以内。扩散过程监控系统设计为易于使用，允许用户仔细调整其过程以获得最佳性能。该炉还配备了空气洗涤装置，以确保在整个扩散和退火过程中使用清洁空气。这台机器包括过滤器和冷却系统，在闭环工具中运行。压力容器被整合到资产中，并充满扩散或退火过程所需的核定气体。该炉还配备了一系列压力和位移传感器，以确保对工艺的最佳控制。DD-853还包括一系列附件和成像工具，包括高温计、显微镜和成像模型。这种组合使用户能够精确监控其扩散和退火过程。高温计设计用于测量退火或扩散过程中样品的温度，并提供详细的读数。显微镜和成像设备旨在提供高水平的细节和精确度，同时提供样品材料在扩散或退火时的图像。最后,HITACHI/KOKUSAI DD-853具有多种旨在保护用户和环境的安全功能。该炉采用接地故障中断器和压力控制阀设计，必要时可自动切断电源。排气罩设计为提供干净的排气路径，而多级过滤系统则捕获并控制烟雾。该炉还包括一个紧急停止按钮，当它被按下立即关闭电源。综上所述，HITACHI DD-853是一种扩散炉及配件，为用户提供扩散和退火过程的高度控制和性能。该单元包括各种功能和附件,使用户能够仔细控制其流程并监控结果。此外,安全功能还确保用户和环境在扩散和退火过程中受到保护。
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