二手 HITACHI / KOKUSAI DD-853V #293637729 待售
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ID: 293637729
晶圆大小: 8
Vertical diffusion furnace, 8"
Flat zone flat zone aligner
M-826 Wafer counter
CT-204S Ionizer
(2) BL-701 Barcode readers
DM-HB1 AGV sensor
CX-3002B Main controller
PCU-3000 / EC-5202 Exhaust controller
OMRON (CX-1314) PLC Unit
CX-1223 Mecha controller
CX-3202 MFC controller
CQ-1600 Temp controller
DN-150A Gate controller
CX-1317 Torch controller
D4EX05486 Heater transformer
(2) Hard Gas Pattern GFC Panels
Lamp torch
UV Sensor torch
SUS-316L Flange
SUS-316L Cooling flange
SUS-316L Seal cap
SUS-304 Cap base
Teflon Teflon cusion
SUS-304 Cool trap
Acrylic trap drain trap
SUS-304 Auto shutter
SUS-304 Scavenger cover
Teflon exhaust line assy exhaust line
SUS-316L EP Reactor gas line set
Mass Flow Controller (MFC)
MFC No / Gas / Full scale / Unit
MFC 1 / N2-1 / 30.000 / SLM
MFC 2 / O2-1 / 20.000 / SLM
MFC 3 / O2-2 / 0.600 / SLM
MFC 4 / H2 / 20.000 / SLM
MFC 5 / HCL / 0.500 / SLM.
HITACHI/KOKUSAI DD-853V是工业用先进的扩散炉及相关配件。它是一个紧凑、垂直布置的炉，温度范围在500-1200 °C，可编程的最高温度为1150 °C。这种可靠稳定的炉是专门为高通量、低成本和精确热处理而设计的。HITACHI DD-853V有石墨炉衬里和陶瓷绝缘反应物区.采用垂直加热结构，具有三个均匀间隔的大功率输出区。这允许精确的分布式温度控制和均匀的热处理。其先进的腔室设计提供了陶瓷腔内反应物气体的均匀精细分布，产生了较高的工艺效率。该炉还具有易于使用的高分辨率触摸屏监控设备，可显示当前的工艺状态、运行参数和反应物气体流量。它还具有可靠、最先进的控制系统，并带有温度、过程和响应控制软件。此控制单元可实现准确的流程设置和控制。此外,KOKUSAI DD-853V包括自动线轴传输和排气管解决方桉,以方便高速加速和缩短循环时间。预制材料专用线轴传输特性，可以从控制机中激活，最大限度地减少剩余消耗，确保一致的过程可重复性。排气管解决方桉还可以减少空气污染和掺杂剂损失，同时在运行过程中节省能源和资源。为进一步确保可靠运行和增强用户安全，DD-853V配备了安全阀、气体入口关闭、温度超调预防和自动超压释放。这些保障措施进一步确保了一致、可重复的流程和用户安全。总之，HITACHI/KOKUSAI DD-853V是一种高质量的扩散炉及相关配件，旨在提供可靠的工艺重复性和一致的结果。其先进的腔室设计、易于导航的触摸面板监控工具、自动线轴传输和排气管解决方桉,以及先进的安全和超压释放功能,使其成为高吞吐量、低成本、精确热处理的宝贵资产。
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