二手 HITACHI / KOKUSAI DD-9200GH #9288564 待售

HITACHI / KOKUSAI DD-9200GH
ID: 9288564
晶圆大小: 6"
System, 6".
HITACHI/KOKUSAI DD-9200GH是为半导体加工而设计的扩散炉及配件。该系统是一种直接驱动、自调谐、高温扩散炉,具有可靠、可重复的退火性能。它能够达到高达1200 °C的温度,精确度± 3°C,使其成为加工硅、砷化氙和其他半导体材料的理想之选。该炉设有高性能固态反应堆,能够快速热循环,同时保持优良的底物温度均匀性。其集成的石英管和陶瓷加热元件保证了最大的能效,为您节省了时间和金钱。该系统还具有可靠、持续可调的供气功能,确保保持一致、统一、可重复的加工环境。该系统采用了用户友好的力学和编程功能,简化了热过程的设置和操作。交流控制单元提供了一个直观的界面来控制炉子的运行,包括编程、实时监控、数据记录、警报显示、温度图和诊断。该炉进一步配备了超温防护、自动密封等内置安全特性。安全特性保证退火扩散过程安全高效进行。另外,该炉的设计是为了与一系列配件兼容。这包括石英管密封件、盖、起重夹具、基板支架和适配器。这些配件保证了炉子能舒适地适应一系列的加工要求。总体而言,HITACHI DD-9200GH扩散炉非常适合先进的半导体加工应用。其一贯高效的性能,加上先进的安全措施,确保它是任何半导体实验室的可靠而有力的工具。
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