二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206 #293636499 待售

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206扩散炉是一种高性能、自动化的氮气、氧气或其他气体热处理设备。HITACHI DJ-1206的模块化设计使得实现可变热处理条件以满足广泛的工艺要求，包括高温退火和氧化。KOKUSAI DJ-1206适合用于各种研究和工业环境，从研究实验室到半导体和元件制造。DJ-1206具有1,200毫米³工作区、6.0 kW功率输出和1,500 °C的最高温度,可有效处理基板而不会使加工室疲劳。HITACHI/KOKUSAI DJ-1206利用多种技术来确保高效的热处理,并精确控制温度、压力和气体流量。采用先进陶瓷加热元件的集中供热系统，提供高效、均匀的热分配和快速的温度上升。对于精确的温度控制，HITACHI DJ-1206可以配合先进的PID闭环温度控制装置。扩散泵机和快速气体效率控制确保了精确的气体流动，使几种工艺气体得以高精度地使用。KOKUSAI DJ-1206设计为在环境条件下运行,能够在各种温度、压力和气体下运行。通过控制计算机对操作环境进行连续监控，从而实现高效的过程优化和控制。当异常情况或其他因素阻碍过程时,警报工具会发出警告。综合紧急关机资产有助于预防任何严重事故。DJ-1206包含一个集成的、可扩展的机器人手臂模型，该模型支持基板的引入和定位并使基板暴露于该过程中。机器人手臂可以手动操纵，精确控制基板放置，设备配备了一个腔盖控制系统，在不使用时安全安全地密封炉子。HITACHI/KOKUSAI DJ-1206单元的其他特点包括低温漏气检测机、远程操作终端工具和配方数据管理资产，方便高效地管理各种基材的处理数据。HITACHI DJ-1206还包括一个直观的图形用户界面,可指导用户完成各种操作功能,从而提高生产效率和一致的流程结果。该模型非常适合任何寻求精确控制扩散炉的工程师或研究人员。