二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V-DF #293630231 待售

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206V-DF扩散炉是一种先进的多功能扩散炉，设计用于各种行业。它设计用于各种工艺应用，包括半导体、LED和薄膜沉积工艺。该设备具有高达1250°C的大型可调温度控制范围,具有卓越的均匀性,能够处理多达4英寸的晶圆。它具有极高的能效，20kW额定功率低，确保节能。该炉配备了众多独特的特性，使其能够达到更高的性能水平。它具有自动晶圆交换和端点控制的能力，允许对整个过程进行完全控制。它还具有一个冷却过程室，通过控制运行温度和保持温度一致性来确保温度均匀性和减少过程热预算。此外，它还包含一个光发射监测系统，用于测量关键工艺参数，并提供气体成分和辉光放电测量等反馈。该装置还包括集成注氧装置（OIS），通过向腔室输送精确数量的氧气来改善腔室操作，让用户对工艺环境有更大的控制。OIS也有助于减少氧化，保持腔室清洁。此外，该炉还包括一个检视口和清洁工具，便于样品观察和检修。它还具有完整的SCADA控制,以确保精确、可重复的过程控制和高度可靠的操作。使用集成的数据记录机,可以轻松记录和监控有价值的过程数据。HITACHI DJ-1206V-DF扩散炉是一种紧凑可靠的扩散解决方桉，非常适合半导体、LED和薄膜沉积应用。它具有较大的温度范围、精确的温度均匀性、较低的额定功率以及许多其他有用的功能,旨在使您的工艺优化更轻松、更经济高效。