二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V-DF #9251678 待售

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206V-DF是为半导体器件加工而设计的扩散炉。它是一种低压化学气相沉积（LPCVD）炉，能够进行高达1000 °C的高温反应过程。这种高热处理温度使得HITACHI DJ-1206V-DF一种用途广泛的工具,非常适合从退火到氧化、氮化甚至硅外延等应用。扩散炉和附件是一个单元，从而使安装和操作更加容易。它具有一个LPCVD腔室，该腔室具有3 ″直径的石英视口，用于清洁工艺和样品的内联视觉。该单元还带有一个四区控制器，允许在每个特定的工艺区域内进行精确的温度控制。控制器与燃气选择设备、超灵敏高温计和石英采样管集成在一起，可实时反馈温度和其他过程相关读数。扩散炉采用独有的漂移控制系统设计，保证每个区域温度的精确控制。这样可以确保所有级别和所有过程的温度稳定性和准确性。该单元还提供了允许创建复杂层结构的过程灵活性。所有这些功能确保了一个可重复和可靠的过程。为了增加安全性，该单元采用了最先进的九点保护单元。该安全机器监控气流、压力、温度和腔室含量,以保护制造环境。此外,还添加了隔热盖,以减少能源消耗并最大程度地降低噪声水平。为方便起见,扩散炉配有各种配件.这包括一个360度的物料拾取臂，允许在所有加工区中完全进入样品。它还包括一个用于降低氧化风险的净化站，以及一个用于温度精度验证的多区标定站。最后，该单元通过计算机集成软件工具进行控制，从而实现最大程度的控制和灵活性。KOKUSAI DJ-1206V-DF扩散炉是一种先进的设备，其性能最佳，控制精度高，安全性高。其种类繁多的附件使高度专业化的流程能够快速轻松地执行。这种最先进的设备非常适合所有半导体器件的加工需要.