二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V-DF #9285059 待售

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206V-DF是为半导体器件制造设计的最先进的扩散炉及附件设备。该系统有一个高温炉，其温度可高达1206 °C，还有一个扩散室，具有多级真空兼容性。该炉还包括一个允许精确温度控制的控制器，以及一系列其他功能。HITACHI DJ-1206V-DF由一个主冷却室和次冷却器组成，以及一个6区控制加热器和一个区域热电偶加热器，两者都装在真空密封反应器中。设备由一个单独的电源供电,在任何区域发生温度过高时自动关闭。该机器配备了内置气体进料机构，允许在操作过程中自动向腔室输送气体。供气可用于制造多种大气，如氧气、氮气、氙气或其他惰性气体。HITACHI扩散炉及配件除了自动温度和气体控制外，还配备了几个安全特性。这包括主冷却室中的开/关开关，确保在打开炉子之前关闭刀具。腔室还包括一个空气过滤器，确保所有杂质在进入资产前从气体中除去。该炉还包括检测热失控和温度过高的传感器，并将关闭模型，以保护组件和防止任何伤害。此外,KOKUSAI DJ-1206V-DF还配备了多种附加配件。这包括用于装载和卸载基板的晶片卡盘，以及远程真空控制端口。它还包括一系列外围设备，如溅射室、涡轮恒星气化器辅助装置和射频薄膜设备，使其能够轻松地集成到现有的工艺系统中。总体而言，DJ-1206V-DF是一个高效、可靠、用途广泛的扩散炉及附件系统，旨在满足半导体器件制造的需要。无论是需要高端生产的扩散炉和附件装置，还是仅仅是一个基本的设置，这台机器都是同类中最好的。