二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V #9377252 待售

HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V
ID: 9377252
晶圆大小: 2007
Furnace, 12" Process: HTO 2007 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206V是一种扩散炉,设计用于半导体器件制造中的各种热过程。它是一种快速热处理工具,利用辐射将样品加热至高达1400°C的温度。温度均匀性通过其多个石英辐射灯保持整个腔室。此外,该室由不锈钢制成,并配有陶瓷氦气分配板。这确保了主要气体的均匀分布和一致的加热。HITACHI的各种功能DJ-1206V使其成为用户的理想选择。自动清洁机制使其能够在整个过程中有效地保持内部表面清洁。它还可以自动检测和显示室内的任何空气泄漏。扩散炉还包括用于数据收集和监测的接口设备。这包括一个基于Windows的软件包和一个图形用户界面。炉子配有几个配件,包括供气系统、压力传感器、加热器和加热元件。该装置的设计目的是提供可靠的气体供应,在操作过程中便于调整设置。压力传感器测量腔室内的压力,以确保它在安全范围内。加热器和加热元件通过使用它们的装置将热量从加热器元件传递到基板,有助于保持室内的温度均匀性。除了内部部件外,KOKUSAI DJ-1206V还包括一台环境监测机。该工具旨在监测气体成分或压力的任何变化或偏差。如果变化超过软件中设置的边界,则资产能够自动进行调整并通知用户。总体而言,DJ-1206V扩散炉是一种先进而可靠的工具,可以为许多不同类型的半导体器件提供高端热处理。它可以用于各种工业环境,适用于广泛的应用。
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