二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DF #9377286 待售
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HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DF是为满足半导体、电子、光子学等行业需求而设计的先进扩散炉及配件设备。该炉具有独特的特点组合,非常适合各种用途。炉系统配备了最新的扩散技术,包括真空退火、快速热处理、板材电阻控制、极快的开关电阻加热单元以及种类繁多的配件。该炉还通过适应许多不同的晶片尺寸提供了灵活性,并根据特殊要求提供了定制设计的晶片和冷板。机器的核心部件,包括热控机构、扩散炉、配件,都是为了满足最严格的行业标准而设计的。该炉温度范围广,范围为-200至+1300C,重复性好,除气低。扩散炉还提供了一系列设置的精确热控制,如加热速率、浸泡时间和Dwell时间。该工具还附带了一些使资产更加强大的配件。例如,附件包括两个允许自动晶片加载/卸载的机器人晶片处理器、机器人运动控制系统,以及允许方便操作的图形用户界面。此外,这些附件还提供远程服务能力,允许远程访问关键的熔炉功能。最后,该模型还可以配备定制设计的保护系统,对防止晶片污染至关重要。这些系统包括惰性气体供应设备、化学蒸气沉积系统、真空装置和原位清洁机。这些先进的保护系统有助于确保晶圆生产的最高质量,并将停机时间保持在最低限度。综上所述,HITACHI DJ-1206VN-DF是一种先进的扩散炉工具,具有很大的灵活性和各种各样的配件。适用于多种应用,可调节的温度范围和快速切换的电阻热资产可以提供快速、精确的热控制。该模型还提供了防止污染和停机的保护,以保持晶片生产的最高质量。
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