二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM #293630241 待售

HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM
ID: 293630241
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Vertical LPCVD furnace, 12" Quixace I-Aldinna 2006 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM是一种高精度、高效和可靠的扩散炉,用于各种半导体应用。它提供具有高端特性和性能的快速、准确的半导体处理解决方桉。HITACHI DJ-1206VN-DM设计有各种尺寸的基台,单台式真空管炉包括石英管直径150 mm,最大可达到的真空5 Pa,最高工作温度1250 °C。这使得它适用于金属氧化物扩散、退火、焊接、掺杂、金属沉积和金属封装的应用。为方便起见,扩散炉提供了一个易于操作的控制器,带有大型液晶显示屏和简化的控制系统,允许用户根据自己的应用快速调整工艺设置。它包括一个集成的内部冷却系统,能够在高温下安全使用该设备。此外,该扩散炉采用真空歧管泄漏检测器、单气体保形套和真空测量管,以实现最佳的安全性和性能。主要加热元件均匀地分布在整个管子中,网格易于清洁或更换。扩散炉还具有内置加热器短路保护、自动压力控制、过热安全装置、综合视觉报警等一系列防护功能。该炉还配备了红外温度指示器,对腔室的温度提供准确可靠的反馈。该室易于安装和无维护,不需要额外的系统或设备。此外,不锈钢结构和外部玻璃视孔增加了系统的寿命,并允许不断监测腔内的过程。总体而言,KOKUSAI DJ-1206VN-DM扩散炉是半导体加工的一个强大而可靠的选择。它提供了卓越的准确性和效率、一致的设置调整以及多种安全功能,以确保安全和性能的最高标准。
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