二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM #9355659 待售
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ID: 9355659
Vertical LPCVD furnace, 12"
Process: LPCVD Nitride
CIM: SECS
Wafer transfer handling system
FOUP Interface
EBARA EST300WN
MAT 507BW Scrubber
2005 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM是一种扩散炉和配件,制造商用来制造高质量的结构和部件。这种最先进的扩散炉具有真空密封高压密封室和30英寸的工作区域,用于插入部件。钢架设备由四部分组成:主体、主门、侧门和顶门。主体能够通过1500W盒式加热器承受高达1000 °C的温度。扩散的过程开始于形成一个受控的大气层,它是通过将气体或蒸气引入室内而产生的。一旦达到所需的气氛,基板就被放入腔室。然后将腔室加热到所需温度,当腔室冷却时,气体/蒸气和底物之间发生化学反应,从而形成所需的结构或组分。HITACHI DJ-1206VN-DM包含几个重要功能,旨在提高扩散过程的效率和可靠性。其中包括一个强制空气冷却系统,旨在加快腔室的冷却速度。该单元还利用机械互锁将主门的开口限制在2mm以下,减少热量损失,最大限度地减少操作员接触有害物质。KOKUSAI DJ-1206VN-DM还配备了多种安全功能,包括一个隔离的加热供气机,旨在限制易燃气体浓度。炉子还配有散热工具,设计用于快速冷却任何暴露的材料,降低易燃性和爆炸的风险。除此之外,DJ-1206VN-DM还具有用户友好的控制资产,允许操作员使用可视显示监视过程。该模型还允许操作员自动切换气体,从而使扩散过程具有更大的灵活性。HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM是一种尖端的扩散炉和配件,其特点旨在提高扩散过程的安全性、效率和质量。它为用户提供了最佳扩散过程所需的所有组件,使其成为寻求可靠高效设备的制造商的绝佳选择。
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