二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM #9358282 待售

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM是一种扩散炉和配件，设计用于工艺开发和制造光电元件、半导体器件和具有亚微米特性尺寸的材料。这种高效、快速加热的设备有助于消除热梯度、硅电阻率和其他参数。HITACHI DJ-1206VN-DM是一种垂直式扩散炉，它提供了一种使用高散热量（GaCl）气体的高温高压（450 Torr）气氛。它提供高达1300 °C的最高稳定温度，烘烤周期时间为30分钟。它还为各种过程提供精确的温度控制，如沉积、扩散和驱动。KOKUSAI DJ-1206VN-DM专为高产量、低成本运营而设计。其先进的放热绝缘和冷熔炉结构旨在减少气体消耗，确保加热区内的温度均匀性。结果是效率最优，单位生产成本低。板载触摸屏面板用户友好,专为实现操作员的最大易用性而设计。它提供了过程内存、配方管理、温度记录和快速配置操作菜单等功能。该系统还可以选择远程或本地监控流程参数。DJ-1206VN-DM的模块化设计允许广泛的夹具和附件，以及数据记录和计算机控制接口。其腔室部件由不锈钢构成，设计为最大产量。有一系列可选的水泵和天然气管线，以满足各种工艺和生产需要。该单元包括一台用于冷却工艺气体的氮气喷口机，以及一个自动气体净化循环，以及一个低维护过滤器。这些功能可确保最大安全级别和操作多功能性。高性能的HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM扩散炉旨在提供最佳的产品产量、低的运行成本和最大的安全性。其先进的特点，如卓越的温度控制，加热区的均匀性，以及坚固的绝缘设计，以确保最佳的工艺性能。它是物理气相沉积、高温扩散和其他加工需要的经济高效的解决方桉。