二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM #9358305 待售

HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM
ID: 9358305
LPCVD furnaces Process: SiN.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM扩散炉是一种用户友好可靠的机器,设计用于小规模半导体和电子元件加工的批量生产。其统一一致的温度设置允许精确、高质量的结果,而直观的用户界面保证了高效的操作。扩散炉由钢的外部框架和热解石墨内部构成。它具有两层绝缘和内部空气套和外部铝空气隔热。先进的温度控制机构依靠专门设计的导叶片和隔热板来实现整个腔室的温度均匀性和精度。该炉提供了一个12.6 x 12.6厘米的加工区,有七个工作站开口用于操作,如层间连接、后表面涂层和激光回流。大面积感应器利用碳化硅加热技术在热氧化过程中产生均匀的热量。可调的加热器关闭时间函数通过控制温度过渡率来增加吞吐量。扩散炉设有石英感应压力传感器,用于精确测量腔内压力。该系统允许在操作过程中进行实时监控。PID温度控制机制进一步提高了温度稳定性和准确性,同时清洁的排气系统确保了排放合规性。扩散炉除了具有先进的加热特性外,还可配备一系列配件。其中包括单个晶片装载臂、温度传感器、气体入口和产品确认灯。为了降低成本和提高效率,HITACHI DJ-1206VN-DM扩散炉是许多行业的理想解决方桉。可靠、直观的施工使其成为一致、优质成果的可靠选择。
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