二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM #9400343 待售
网址复制成功!
单击可缩放
ID: 9400343
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Vertical LPCVD furnace, 12"
Process: Nitride
Wafer transfer handling system
(2) FOUPs
507 BW Mat scrubber
EST300WN Pump
2005 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM是一种坚固的扩散炉,专为精确、高效和高容量的材料热处理而设计。该单元具有气体分布和精确温度控制相结合、降解程度低的大腔室,允许均匀和可重复的材料行为。HITACHI DJ-1206VN-DM的模块化设计允许在腔室大小和控制能力方面具有灵活性。该装置的定制选项包括最多三个信号深度传感器,最大测量量为8 μ m,石英纤维炉(QFID)用于提高温度控制,氧气排出泵用于连续精确气流。自动装卸系统可确保高效、及时地处理物料,从而实现最大吞吐量,并可能缩短周期时间。此外,扩散炉具有先进的安全特性,保证材料的安全运行.这些功能包括集成防爆设计和传感器互锁,以及可关闭和锁定的可滑动上盖,以提供额外的保护。通过这些综合安全措施,用户可以确保安全的生产环境,最大限度地减少潜在危害。KOKUSAI DJ-1206VN-DM扩散炉还提供卓越的热性能,为材料提供卓越的均匀性、可重复性和无降解处理。该单元能够处理高达1,000 °C的温度,以便于控制和重复处理,并且模块化设计允许根据需要轻松定制和改进。DJ-1206VN-DM扩散炉是材料大容量热处理的理想选择。它结合了特殊的特性、坚固的设计和卓越的散热性能,能够提供可靠和可重复的结果,而且材料的降解最小。
还没有评论