二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1223 #293636498 待售

HITACHI/KOKUSAI DJ-1223是为提供卓越可靠性和性能而开发的扩散炉。这一系列炉顶设有不锈钢室，配有石英组件和重型电气设备。炉子装有一个单一的扩散区，能承受高达1250C的温度，以及一个用于精确温度控制的高温计。该过程中的气体，即氙气、氮气和氢气，来自循环气体系统，有效地减少了气体消耗。炉内通过以氧气为清洁气体的反向气体流动单元进行清洗。HITACHI DJ-1223上的扩散区被设计为产生沿晶片连接的均匀温度。该区分为四个热区，采用由石墨元素操作的内部加热器机构。石墨元素通过交流电发电机激活，有助于减少污染，消除失重电源造成的电弧。KOKUSAI DJ-1223还具有高速线性机器人和三个加载端口,用于加载/卸载晶片。这些机器人具有较高的吞吐量速率,可以显着缩短周期时间。气流机与工艺环境完全隔离，保持了腔室清洁的质量。炉柜由不锈钢组成，具有较高的耐腐蚀性和强度。室内设有防辐射罩，以最大程度地减少热量损失。此外，DJ-1223的特点是一个平端石英管，它允许整个腔室均匀的热量分布。为了保持质量性能,HITACHI/KOKUSAI DJ-1223需要频繁的维护和校准。这包括定期更换所有气体和工艺部件，以及清洗和调整扩散室和高温计。此外，所有操作人员都应接受适当安全程序的培训，因为许多炉子部件由玻璃和其他易碎材料制成。鉴于优质的组件和可靠的工艺性能,HITACHI DJ-1223是许多高级太阳能电池、薄膜和IC应用的理想选择。它也是一系列其他扩散炉应用的理想选择，使其成为任何实验室或制造设施的宝贵补充。