二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1223VN #9377455 待售

HITACHI/KOKUSAI DJ-1223VN是一种扩散炉及其相关配件，设计用于半导体晶圆的后处理。扩散炉内部的大气和温度受到严格控制，以确保准确和可重复的结果。温度可设置为1200 °C，大气可设置为网格或金属有机分解气体。该炉还可用于掺杂、氧化和退火过程。HITACHI DJ-1223VN的设计具有多区网格结构和独特的气体循环系统，为炉内提供理想甚至均匀的温度分布。内炉壁也涂有聚酰亚胺树脂，以改善热发射。这有助于减少晶圆中心附近的温度变化，并防止来自反应室的污染。炉子还设有双门，以使其与外界环境隔绝。这提供了一个远，优越的密封性和绝缘比典型的单门设计。排气系统还配备了机械助推器，以确保废气被牢牢地排出。KOKUSAI DJ1223VN由220V/1Ø 3KW电源提供动力,具有五步计时器,可调节安装和坡道速率。可通过外部控制器将温度精确设置为0.1°C以内。还纳入了过载防护、气体泄漏检测、气闸防护功能等安全部件。炉子配有样品加热器、气体控制硬件、带过滤器的面板废气、气体扩散控制器、电源、电阻加热器和其他附件。HITACHI DJ1223VN为半导体后处理中使用的扩散炉提供了优异的性能。对大气和高温的严密控制，使其成为兴奋剂、氧化、退火等应用的理想选择。多区栅格结构、聚酰亚胺树脂涂层墙、双门设计等都是增加其可靠性和安全性的特点。此外,可调节计时器和0.1°C的温度精度可确保结果始终准确且可重复。