二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1223VN #9377457 待售

HITACHI/KOKUSAI DJ-1223VN是用于制造半导体器件的先进扩散炉。它是革命性加热和冷却技术的结合，同时对加工条件进行精确控制。该炉具有独特的高辐射率磁化器和超导互锁磁化器结构，提供了极好的热电线性和均匀的均匀热分布。这是通过优化的磁感器/耐火材料组合实现的，该组合最大限度地利用了高频能量。该炉具有极好的灵活性，具有多种操作模式，如EFEM和EFEM+LP模式，以适应各种工艺配方。它配备了一个气体选择阀，允许精确和控制气体的溷合物。它还具有用于温度和气体压力控制的主动闭环。炉的可编程控制器具有自动调谐、自动清洗、自动通风、真空泵控、正时等多种控制功能。控制器还支持智能诊断功能,便于自动调试和故障排除。当需要批处理时,此功能特别有用。扩散炉具有易于维护的特点,具有易于交换的陶瓷框架.还集成了自洁机构，便于维护。此外,它还具有独特的散热系统,可最大程度地减少热点的出现。HITACHI DJ-1223VN带有特殊的传感器和安全装置，如用于检测气体泄漏的压力传感器、用于监测熔点的温度传感器以及用于确保惰性大气的惰性气体泄漏探测器。它还具有绝缘保护装置和自动停止冲水双重保护装置，以防止触电的发生。KOKUSAI DJ1223VN扩散炉还具有良好的再生性和可靠性。它具有先进的谐波补偿功能,以防止操作过程中的噪声干扰,并采用交叉调节技术来确保整个操作区域的热梯度均匀性。此外，它还有一个压力控制系统和快速密封系统，使压缩机能够继续运行，直到过程完成。综上所述，DJ1223VN是一种非常先进可靠的扩散炉，具有良好的热控制、均匀性和可靠性。它还提供卓越的安全特性以及对加工条件的精确控制，使其成为半导体器件制造的理想选择。