二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1226V-DF Quixace #293667381 待售

HITACHI BJ-1206V-DF是KOKUSAI Electric Incorporated的扩散炉及相关配件。它是为需要扩散层的研发（R&D）应用而设计的。该BJ-1206V-DF是一个垂直加热的单晶圆炉，由一个带有双石英管的加工室、石墨敏感器和加热器组成。设计用于湿式或干式氧化、扩散掺杂、退火等研发应用。该BJ-1206V-DF利用高温加热元件，以极好的温度均匀性达到高达1250 °C的温度。它配备了CVD气体输送系统和六英寸的加工室。加热温度在+/-3°C内的均匀性很容易达到。该炉还配有过温保护系统和气体喷出系统，防止过热，同时确保高效运行。该BJ-1206V-DF的特点是对气体流动和组成进行精确控制，以改善扩散层的均匀性。它包括一个易于操作的用户友好触摸面板PC与数字显示器和定量过程控制的可编程计时器。它还提供加热器、加工气体、感光器和冷却风扇的手动和自动操作。该BJ-1206V-DF设计为与各种工艺的N2O、Ar或O2等多种工艺气体兼容。它还包括用于稳定运行的气泡式干燥机和用于监测工艺温度和压力的石英晶体微平衡（QCM）传感器。此外，该炉还配备了数据记录仪，用于监测过程气体流动以及温度和压力。总体而言，HITACHI/KOKUSAI BJ-1206V-DF是用于研发应用的可靠、高精度扩散炉及相关配件。通过在高达1250°C的温度下工作,并具有出色的温度均匀性,该BJ-1206V-DF为扩散层的处理提供了可靠的性能。该机器的用户友好的PC界面和可编程数据记录器能够实现精确的操作和定量的数据采集。