二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-802V-H #293595916 待售

HITACHI/KOKUSAI DJ-802V-H是一种高效可靠的扩散炉和附件包装,专为快速有效的热处理而设计。它能够提供高达1200 °C的温度，并且与包括硅、金属、陶瓷和聚合物在内的各种基板兼容。其卓越的保温设计确保了卓越的温度均匀性和可重复性，为用户提供了每个周期的可靠结果。该腔室配备了高真空传感器和腔室压力监测仪，允许极其精确的真空读数，以及压力控制，以满足从0.15 Pa到大气的需求。该装置还配备了重型晶片处理设备和用于晶片热映射的"探针"系统。集成的计算机控制型PID温度控制器，提供稳定的温度控制和可重复的加热曲线，而合金消声器和石墨加热器则提供快速的加热和冷却速率。腔室结构由SUS304和法兰设计组成，使腔室更稳定、操作更安全。腔室有三个标准端口，允许安装多条再循环管道，使温度控制更加容易。内置的晶片装卸平台也允许双向移动，避免与耐热材料碰撞。随附的附件为成功的热处理运行提供了所有必要的工具。高性能石英管提供高温快速加热，使操作者更加安全。它是为与多种基板兼容而设计的。该炉还配有2个气体开关装置、一个EGA气体溷合器和一个用于精确气体控制的气体压力监测器。支撑排气单元用气压监测仪监控气流，确保运行可靠、安全。提供了一个独立的冷却排水系统，以帮助冷却设备，允许热气从炉子流向排气机。此外,经过调整的机盖还提供了额外的保护,并为其他外围设备提供了连接端口。HITACHI DJ-802V-H扩散炉和附件包装是一个理想的解决方桉，在应用中，精度和可重复性是必须的。其卓越的设计和特点确保了最佳性能、均匀性和可靠性。这种高效的动态腔室具有广泛的相容基板，能够满足任何热加工专业人士的需求。