二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-802V-H #293811585 待售
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ID: 293811585
晶圆大小: 6"
Vertical Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD) furnaces, 6".
HITACHI/KOKUSAI DJ-802V-H是一种扩散炉和配件,设计用于生产精确、优质的微电子和显示器。它提供了卓越的可靠性和过程控制与快速热控制和多区,石英管结构。它配备了先进的联锁系统安全功能,防止任何未经授权进入设施。扩散器设计为可重新配置,以便快速简单地进行生产更改。HITACHI DJ-802V-H配备了两个由两个PID控制器控制的有源气区,用于优化工艺温度控制。它还可以安装一个下限控制器,以确保适当调节工艺温度。扩散过程可以很容易地监测和精确调整与整体,超稳定的压力传感器。主通道还设有一个侧臂端口,可连接多达四条额外的气线。KOKUSAI DJ-802V-H具有增强氧气和氮气扩散的高温退火能力,而气区适合沉积、氧化、还原和蚀刻。高效的强制热风冷却系统可防止热干扰,保证过程温度稳定。宽敞的气体走廊允许最多四条额外的气体管道的外部连接。DJ-802V-H提供了一些高级功能,例如高级故障诊断功能和改进的软件控制系统。此外,它的直观图形用户界面提供精确的监控,设置和控制参数.它是CE和UL认证的最佳安全性.该扩散炉还具有高效的UL保形涂层电源单元和30升不锈钢灭火室保护功能。HITACHI/KOKUSAI DJ-802V-H是一种可靠高效的扩散炉和附件,用于生产优质微电子和显示器。它提供精确的过程控制、多区域构造、先进的安全功能、高温退火功能和用户友好的界面。HITACHI DJ-802V-H具有最先进的元件和特点,是精密生产高质量微电子的理想选择。
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