二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-802V #293764658 待售
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ID: 293764658
优质的: 1996
Furnace
Heater
Process chamber
Cooling water unit
Scavenger
Temperature controller
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Temperature controller
Power box
Rapid cooling unit
Pump box
Gases:
N2
SiH4
PH3
CIF3
Heater power supply: 10 AC, 200 V, 200 A
Controller power supply: 10 AC, 100 V, 30 A
1996 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-802V扩散炉是一种用途广泛的垂直炉设备，设计用于烧制、密封和焊接薄膜元件。该系统可在真空和惰性大气层中运行，最多可配置2个石英crucible，或1个石英和1个陶瓷crucible。机组最高工作温度为1100 °C。该炉具有坚固、多级、垂直设计的加热室，最大内部尺寸为200毫米x 200毫米。8段温度分割机设计为提供均匀的热分布，每个段都有独立的温度控制。加热室被Kalreil消声器绝缘包围，以尽量减少热量损失。通过计算机控制的可编程逻辑控制器（PLC）设置该工具的温度曲线。PLC编程为在整个生产过程中监视温度值、警报和其他参数。PLC还包括真空互锁和过温关机等安全功能。HITACHI DJ-802V扩散炉包括一个风冷的熔炉和烟囱底座。该炉安装在高度稳定的铝合金基座上，可减少操作过程中的振动和噪音。炉子的高度可调，使操作过程中更容易进入。资产还配备了真空和机械控制，用于气压、真空流动和过程的持续时间。该模型具有带有内部压力阀的负载端口和用于控制机械压力的单个机械控制旋钮。还有用于监测真空和温度水平的数字显示器。该设备具有强大的自动冷却功能,确保了较长的使用寿命,因此效率很高。该系统还能够生产具有优异热性能的优质薄膜元件。该单位极其用户友好，效率很高。对于正在寻找可靠高效扩散炉机器的人来说，它是理想的解决方桉。
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