二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-823V #9157634 待售

HITACHI / KOKUSAI DJ-823V
ID: 9157634
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
CVD System, 8" DASI / Doped a-Si, N2, SiH4, Si2H6 1996 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-823V是一种配有附件的扩散炉,旨在通过金属和陶瓷的沉积和合金制造半导体材料,以广泛的应用。它具有广泛的先进功能,包括高温电介质堆栈,使其能够达到高达2500 °C的温度;石英窗口,可在加工过程中目视检查;以及确保精确温度控制的可调速率电源。此外,HITACHI DJ-823V具有容纳大尺寸基板的高容量磁化器,可最大程度地减少热应力,并消除因加热不均匀而产生的潜在工艺参数。KOKUSAI DJ-823V是一台最先进的机器,其强大的熔炉可以在很宽的温度范围内实现均匀加热,在任何温度下都能获得优越的产量。它使用坚固的炉子驱动系统,能够快速浸泡时间,从而提供更快的吞吐量。此外,通过一个专用的冷却剂循环浴和一个单独的驱动器来提高均匀性和快速冷却,实现了高效的工艺后冷却。此外,DJ-823V的设计考虑到了安全和便利。其直观的触摸屏界面和硬屏蔽为操作员提供了易于使用和保护。该炉还包括泄漏探测器和互锁开关,降低了发生危险事故的风险。最后,它灵活的设计允许轻松集成和与现有系统兼容,以及针对特定应用程序定制的配置。总体而言,HITACHI/KOKUSAI DJ-823V是一种功能强大且可靠的精密扩散炉,具有先进的特性和易于集成,是各种先进半导体材料和合金生产的理想工具。
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