二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-823V #9157635 待售
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ID: 9157635
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
CVD System, 8"
HTO, N2, SiH4, N2O, 450-850C deg
1996 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-823V是一种用于生产用于半导体器件的复杂晶片和电子元件的扩散炉。HITACHI DJ-823V具有先进的设计,为用户提供卓越的处理质量和控制。它能够达到高达1300 °C的温度,并包含高级控制功能,例如高精度的计算机控制热过程。此外,它还具有高温能力和标准处理能力,包括晶片粘结、回流和晶片香料。KOKUSAI DJ-823V配备了一个电子操作的热盾,有助于保护炉子中的材料和炉子周围的环境。此外,DJ-823V还配备了先进的热监测设备,即使在能源波动期间也能确保稳定运行。此监控系统监视设备的内部温度、压力值和电流,并在紧急情况下取消电源。HITACHI/KOKUSAI DJ-823V也具有低污染设计。所有内部结构都经过回火或镀上低沉积涂层。另外,炉房采用特殊密封材料,防止除气和灰尘溷合。这确保了炉子中的大气保持清洁,没有污染物。HITACHI DJ-823V配有多种配件,包括用于扩散过程的石英融石、陶瓷模块、高温绝缘滑块以及用于晶圆过程的机械臂。它还与多种工艺系统兼容,包括惰性气体堆积单元和加工后处理材料的冷却机。KOKUSAI DJ-823V的控制面板具有直观的界面,允许用户快速、轻松地建立和管理流程参数。此外,该面板使用户能够远程访问集成控制器并观察从热室获得的数据。这允许用户实时监控流程,并从任何位置进行管理。DJ-823V扩散炉是任何半导体工艺的一种强大而可靠的工具。HITACHI/KOKUSAI DJ-823V配备了最新的监控功能、快速的处理和低污染设计,是生产符合最高标准的高质量组件的必要工具。
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