二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-825V #9294270 待售

ID: 9294270
晶圆大小: 8"
Furnace, 8" With load lock Process: Poly CX-3000 Controller.
HITACHI/KOKUSAI DJ-825V是一种用于半导体制造的扩散炉及附件。它具有紧凑的设计,能够控制氧化物和氮化物扩散到电子器件。它拥有一个紧凑的机身结合了75毫米宽的前置装载卡带。温度控制高达1,200 °C,这种扩散炉适合小规模物品的扩散过程。实际炉装有一个能容纳最多两个盒式磁带的单一大气箱。粗加工泵控制气流通过扩散炉,以确保均匀扩散.腔室可以用氮气或其他惰性气体进行气体净化,同时保持较高的热处理水平。内置的质量流量控制器即使在低温条件下也能稳定气流,可以在全计算机控制下操作,允许精确控制和反馈。然后将系统连接到真空泵进行维护。HITACHI DJ-825V扩散炉由高效加热器供电,使用200 VAC、50/60 Hz的单相交流输入。当达到所需温度时,加热器会自动关闭以节省电源。该炉还设有一个"加热速率监测仪",它有助于控制加热到反应温度的速率,防止点接触热失控现象。此外,该机器还配备了高级安全功能,包括过温关闭、气体关闭和接地故障报警器/联锁,即使加热器与电源断开连接也是如此。此外,使用非分层绝缘材料消除了低温热损失的风险。为便于安全操作,KOKUSAI DJ-825V扩散炉配备了简单易用的控制面板。高级多输出计时器和自动塞子都包括在内。总体而言,DJ-825V扩散炉和附件是半导体工业小规模工艺的强大热处理工具。凭借其卓越的节能、安全和可靠性,获得卓越的电子效果至关重要。
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