二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-833V #9186180 待售
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ID: 9186180
晶圆大小: 8"
Furnace, 8"
Open cassette
Main frame
Utility box
TEOS Box
Process: TEOS.
HITACHI/KOKUSAI DJ-833V是一种扩散炉和附件,旨在为所有应用提供可靠和精确的过程和监控控制。它具有600°至1500 °C的宽工作温度范围,允许快速的温度变化和可重现的结果。它被设计为通过快速加热和冷却能力在其室内提供均匀的大气,其优越的温度均匀性提供了出色的扩散能力。HITACHI DJ-833V的智能过程控制设备具有多种预置和可定制的程序,旨在优化热过程和简化操作。此外,该系统还包括一个具有双模特性的专门气体流量监测仪,可准确控制精确的气体浓度和流量。大腔室,以其五边形的内部石英设计,能够容纳多达四个可堆叠的工艺晶片,并且可以将手动晶片传递机构集成到单元中,方便晶片处理。该机还具有高效、低噪声的强制冷却功能,确保整个腔室的温度环境均匀。KOKUSAI DJ 833V也是为方便维护而设计的。它包括一个用于腔壁、底部和加工管的工具清洗程序,资产可以通过使用额外的程序更新套件进行升级。此外,该模型还包括一个最高级的过程监测设备,该设备结合了传统系统和现代数据记录技术,以确保一个稳定、可靠的过程。总之,DJ-833V是一个先进的扩散炉和附件设计,以提供无与伦比的精度和完整的过程控制。其优越的温度均匀性、过程控制系统、较大的腔室尺寸和易于维护,使其成为所有过程和扩散应用的理想选择。
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