二手 HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620 #9374936 待售

HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620是一种先进的扩散炉，具有广泛的相关配件。该炉专为使用高温低压工艺对工业基板进行退火、清洁和钝化而设计。它非常适合各种应用，如半导体制造、冶金和金属加工。CX-9620的扩散室尺寸为75.2 x 11.8"，为广泛的工业、消费和商业应用提供了一个大的基板区域。该室进一步配备了高温绝缘设备、高效空气加热器以及氢气和氮气连接。HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620还具有水平、底部安装的ID风扇,可在扩散室内提供低压操作和均匀性加热。CX-9620的控制器经过专门设计,可实现精确的温度控制和众多可定制的操作参数。它还具有一个自动化的过程控制系统，利用压力传感器和气体传感器来维持单位的完整性和整个扩散室温度的均匀分布。控制器进一步确保安全高效的操作，包括互锁功能，以及开路/短路保护和过热保护电路。HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620还具有多项安全功能。它具有自动过热限制器/过热截止装置,以及在温度超过预定设定值时关闭操作的过温监视机器。此外,CX-9620还配有安全盘和排气口,以保护人员不会直接接触加热的部件。除了腔室和控制器外，HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620还配有各种必要的配件。该单元包括一个用于将基板固定到位并确保每个基板表面加热均匀性的板式组件。此外，它还具有各种样品支架、crucibles和基板支撑，非常适合各种样品类型。此外，CX-9620还配有电源线、煤气线和专门的设备安装和维护工具。总体而言，HITACHI KOKUSAI Electric CX-9620扩散炉是工业基板退火、清洁和钝化的理想解决方桉。其强大的设计和各种各样的配件使精密控制具有卓越的安全性和可靠性。