二手 HITACHI / KOKUSAI V-3(J3) #9191591 待售

HITACHI V-3（J3）是为高产效率和先进的高质量扩散而设计的扩散炉。它具有优异的处理性能、精确的温度控制精度和可靠性。它非常适合生产光电子、半导体晶片以及其他各种需要对扩散过程进行精细控制的产品。该炉采用创新的垂直中心线驱动的热墙结构，减少了热梯度，提高了炉内的热均匀性。V-3（J3）配备了独特的压差控制系统，旨在提供温度、压力和其他操作范围的稳定性。这种控制系统有助于最大限度地提高过程中最脆弱的处理结果。V-3 （J3）还具有一个三相预热室，当晶圆进入炉子时，它可以充当预热器。这允许更均匀的扩散温度在整个基板，导致更好的产量和更高的吞吐量。V-3 （J3）的用户友好设计允许在没有技术人员的情况下进行简单的设置和操作,从而实现更高的吞吐量和更少的时间和精力浪费。此外,OLED触摸屏面板还提供用户友好界面,方便地访问控制设置和进程。V-3 （J3）具有高性能绝缘材料、两级低压鼓风机和冷却风扇,可实现最佳效率和加工稳定性。先进的安全功能包括过温报警器和防止意外加热事件的安全电路。这种高性能扩散炉的设计符合高容量扩散加工要求和严格精度的生产环境需求。KOKUSAI V-3 （J3）的易用性、可靠的性能和高质量的扩散,非常适合各种行业和应用。