二手 INDUCTOTHERM Power-Trak 75-30 R #9400070 待售

INFORTTOTHERM Power-Trak 75-30 R是一种最先进的扩散炉，专为满足现代半导体和微电子器件制造工艺的严格要求而设计。它是一种先进的设备，允许用户在扩散和其他制造过程中精确控制和监控温度、压力和气流。在25°C至1200°C的稳定温度范围内，Power-Trak是制作高性能半导体芯片、集成电路和其他微电子器件的理想选择。该系统配备了一个坚固的30 kW射频发电机，对过程提供非常高精度的控制，以实现卓越的可重复性和准确性。该单元还包括快速响应石英管热电偶、最先进的数据记录软件以及图形用户界面，使控制和监控过程变得极为容易。Power-Trak还采用了集成式真空机和专用机械支持的涡轮分子泵，提供5.0 x 10E-7 Torr的极限真空。为了保证均匀准确的加热，在高精度扩散船上安装了精确设计的磁感器，由射频发电机驱动。根据应用程序的不同,可以通过手动或自动操作来控制和监视感知器。Power-Trak 75-30 R也是INFORTTOTHERM系列中用途最广泛的扩散炉，有多种选项可供自订工具到特定的应用。其中包括高温扩散的特殊设计、快速变温应用、高剂量植入物以及先进材料研究。资产还可以通过质量流量控制器、高压气瓶、多个供热区等附加组件轻松升级。总体而言,INFORTOTHERM Power-Trak 75-30 R是一种先进可靠的扩散模型,可提供卓越的温度和压力控制、准确的数据记录以及广泛的定制选项。是大容量半导体和微电子器件生产以及材料研究和先进工艺开发的理想选择。