二手 IPS 300 CA #293614963 待售

IPS 300 CA是一种来自Nederman的扩散炉及附件设备。它执行与半导体器件制造中使用的退火和扩散过程有关的多种功能。300 CA系统是一种温控水平炉，带有减小的燃烧室，用于执行退火和扩散过程。该单元是双带型，在晶圆尺寸和配方生成方面提供了广泛的灵活性。它旨在优化速度、效率和可重复性。IPS 300 CA机有两个不同的加热区域-预热区域和扩散区域-以确保整个过程的最佳条件。预热区确保所有工艺气体在到达扩散区之前都处于所需的集合点。这不仅有助于底物原子的成功扩散，也有助于保持一致的导热系数。预热区还为气体减少排放和减少室内冷凝的可能性提供了充足的时间。300 CA还具有卓越的温度和压力感应功能,包括自动化过程控制系统,这有助于确保在整个扩散过程中保持最佳过程条件。此外，一个垂直安装的石英管石英管源，带有加热元件和陶瓷屏蔽，有助于确保晶圆基板上的均匀沉积。石英管源还允许快速温度上升和冷却的过程。IPS 300 CA工具还具有多种安全功能，以提高安全性和防止任何类型的操作员失误或事故。它的双锁保护保证了熔炉在压力下气体扩散过程中的最大安全性。此外，该资产还有一个自动过压关闭装置以及一些固有的安全措施，有助于防止由于可燃气体的存在而引起的任何种类的灾难性爆炸。总体而言，300 CA模型是需要复杂退火和扩散过程的半导体器件开发过程的理想选择。IPS 300 CA设备以其坚固可靠的设计，为基板扩散退火提供了一种安全高效的方法。