二手IST(扩散炉&配件)待售

扩散炉是半导体制造中的关键部件,允许掺杂材料扩散到晶片中。IST是一家着名的扩散炉及相关配件制造商。IST提供了多种适合不同工艺要求的扩散炉。它们的炉子设计提供精确和一致的扩散过程,确保高质量的结果。这些炉配备了多区温度控制、高纯度气体输送系统、受控大气环境等先进特性。IST还提供了一系列辅助其扩散炉的配件。这些包括石英管、晶圆船、气体系统和工艺控制。石英管用于在扩散过程中保持和运输晶片,确保在晶片之间均匀扩散。晶圆船有助于有效地将晶圆装卸到石英管中。气体系统向熔炉输送扩散过程所需的掺杂气体,而过程控制则有助于监测和控制扩散过程参数。IST扩散炉及配件有几个优点。它们具有较高的工艺重复性、更高的工艺均匀性和优异的掺杂浓度控制.此外,它们的高级功能和精确的控制有助于缩短周期时间和提高产量。IST的VFNC 3030是其扩散炉系列的一个例子。它是一种高效多用途的熔炉,适用于批量和单晶片扩散过程。VFNC 3030具有出色的温度控制、快速倾斜率和出色的掺杂气体管理功能,非常适合各种半导体制造应用。

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