二手 KE DD-1223V #9381846 待售
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ID: 9381846
晶圆大小: 12"
优质的: 2001
Furnace, 12"
Process: Pyro
(100) Process wafers
Process type: Oxide
Gas supply: Bottom
PCW Supply: Bottom
Boat operation: 1 Boat
(25) Carrier slots
Heater type: D4EX16975-1
Gases: N2, O2, H2, HCl
Hard Disk Drive (HDD)
System control:
CX3002C Main controller
Operation screen: Touch screen
Gas flow chart (Front, rear)
CQ1600 Temperature controller
Pressure control: EPV100-AW
Controller power: Ø1 208V 150A
Heater power: Ø3 208V 350A
Tape heater controller: SR Mini
Torch
Process gases:
Gas name / Type
Gas 1 / N2 FC-D986Y-BF 30SLM
Gas 2 / N2 FC-D986Y-BF 50SLM
Gas 3 / O2 FC-D986Y-BF 20SLM
Gas 4 / O2 FC-D985Y-BF 5SLM
Gas 5 / H2 FC-D986Y-BF 20SLM
Gas 6 / Hcl FC-D985Y-BF 0.5SLM
Gas 7 / N2 FM-D866Y-BF 10SLM
Gas 8 / N2 FM-D866Y-BF 5SLM
Gas distribution system:
Basic style: FUJIKIN IGS
Tubing material: SUS-316L
Tubing finish: VCR
FUJIKIN Manual valve
FUJIKIN Air operated valve
AP TECH Regulator
MFC (Maker, model): AERA
Exhaust distribution system:
APC EPV-100
Wafer / Cassette handling:
(16) Cassette storages
Cassette in / Out port
Cassette handling robot
Wafer transfer type: 1+4
Fork material: Ceramic
(5) Forks
Fork variable pitch
Fork wafer presence sensor
Elevator handling:
Boat elevator
Auto shutter
Boat rotation
Mechanical parts
Heating chamber:
D4EX16975-1 Heater
Spike T/C
Overtemp protect T/C
Door interlock
Exhaust system:
Heater exhaust
Gas box exhaust
Process exhaust
ETC:
Handy terminal
Manifold assembly
Cap base assembly
Tube setting part assembly
Missing parts:
Scavenser EXH MS3 Sensor
Torch TC
2001 vintage.
KE DD-1223V扩散炉及其配件是一种多用途、温度控制的电烘焙炉设备，设计用于科学和工业研发。它具有高温能力、宽广的温度范围、从200°C到1000°C的微细增量控制以及高达24 瓦/cm2的连续输出,为许多工业加热过程提供可靠的性能、效率和安全性。该单元具有紧凑的外壳和安全、绝缘的设计，便于安装和维护。一个精确的数字温度控制器与PID控制确保一致和重复加热操作。烤箱采用双壁矿物绝缘材料，具有良好的温度均匀性和高能效。该装置采用独特的"开门"式设计，便于装卸被加热部件以及维修和维护系统。该腔室设计用于扩散过程，直至并包括焊接和焊接。车门采用独特的"旋转式"设计,便于使用和增加灵活性。整个单元采用高档材料制作。各种熔炉配件可供DD-1223V，包括石英管支架和石英管，以便进行精确的石英测试。还可以使用多种多样的crucibles和菜肴，温度最高可达1000 °C，使得进行各种样品制备和分析过程成为可能。附加功能包括双窗式开门机，配有手动扭矩旋钮方便检修，以及可调节、PID控制的温度设定工具。KE DD-1223V扩散炉及附件是许多工业和科学加热过程的理想解决方桉,提供无与伦比的性能、坚固的结构和可靠的温度控制。它非常适合测试、预处理和分析过程，涉及各种金属和合金，以及石英、瓷器和陶瓷。由于其易于安装的设计、高效的绝缘、精确的数字温度控制器以及各种附件,DD-1223V是任何扩散过程的强大解决方桉。
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