二手 KE DD-823V #9364541 待售
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KE DD-823V扩散炉是一种功能强大、可靠、坚固的沉积装置，设计用于高容量和选择性面积的半导体晶片加工。它利用独特的脉冲动态扩散加热设备，为PECVD、CVD、快速热退火和介电沉积等多种工艺提供均匀的高温加热。DD-823V还配备了改进的垂直驱动电动机，能够精确控制多达八个水平安装的盒式装载门。此功能为不同流程之间的快速过渡提供了最大的灵活性。该炉还包括一个三向安全开关系统，用于监控盒式磁带、腔室和盖子温度，以确保安全和可靠性。此外,还对最高腔室温度进行了编程,以满足工艺要求。KE DD-823V的集成控制单元提供精确的过程温度控制和人性化操作。它还配备了一个过程控制器和安全监控器，两者都内置传感器，以及可编程报警和状态功能。可互换气体板控制加热区，以实现更好的腔室均匀性。DD-823V还具有触摸屏图形用户界面,可以快速、方便地访问处理参数。KE DD-823V还具有创新和用户友好的维护功能。其独特的自我监测能力能够对异常状况作出快速反应，并能够进行无干扰的维护和持续监测舱室状况。该装置还配有可移动气体面板，用于定期清洗和检查。炉子还配有一个短循环门，以便能够快速更换零件，不受干扰。此外，该炉可以手动或自动方式操作，因此可以很容易地进行调整，以满足任何工艺要求。综上所述，DD-823V扩散炉是一种功能强大且可靠的机器，可提供过程与精确区域控制之间的快速过渡。它配备了多功能控制机、模块化燃气面板以及易于使用的维护功能。该模型是高容量和选择性面积半导体晶圆加工的一个很好的解决方桉。
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