二手 KOKUSAI / BTI Apogee II+ #293651754 待售
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KOKUSAI/BTI Apogee II+是为制造先进半导体器件而设计的最先进的扩散炉及配件设备。它具有高端热控制系统，使用户能够在扩散过程中精确管理温度。先进的温度控制单元允许在几分钟内达到高达1350°C的温度。该机还具有广泛的动态范围，能够快速加热和冷却各种材料。该工具还配备了高效气体输送资产，用于蚀刻和CVD等气体输送过程。该模型带有几种高级工具，如扩散过程监视器和Decaperf Plus控制器。扩散过程监测仪可实时测量基板温度和气体流量，从而实现扩散过程的实时优化。Decaperf Plus控制器是一种自动化设备，用于在整个扩散周期中连续监控温度剖面。设备还包括一个具有集成晶片支架和晶片夹紧单元的自动晶片传输系统。该机设计用于处理多种基材，可容纳多达8英寸的晶圆。它还有一个先进的多区加热工具，使用户能够精确控制工艺室不同区域的温度。该资产还具有改进过程控制的真空模型以及增强安全性的真空保护设备。它还附带了各种配件，如氮气管线，这使得氮基蚀刻工艺得以操作。BTI Apogee II+是半导体器件制造和先进扩散工艺的理想系统。它提供了出色的温度控制和气体输送能力，使各种过程能够以安全、高效的方式进行。此外，其先进的模具和自动晶片转移，加上其多区加热装置和先进的真空保护，可以帮助确保所有工艺都能正确完成，对暴露的基板造成的损坏风险最小。
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