二手 KOKUSAI CQ1710 TC#1 #293597881 待售

KOKUSAI CQ1710 TC#1是为制造和研究半导体基板而设计的专用扩散炉及其相关配件。配备了高温炉、顶装熔炉、手动和电力分区热源、气泡、真空等一系列特点，可用于掺杂、SiGe生长和氧化等高精度应用。KOKUSAI CQ1710 TC #1扩散炉的最高温度为1700摄氏度（3,092华氏度），温度上升速度高达每小时80摄氏度。它由耐用的石英纤维和不锈钢制成，可实现最大的隔热和低功率。其独特的气体注入设备确保了在基质水平注入的气体的均匀性，而泡泡功能则允许惰性气体以设定的流量冒泡进入系统。KOKUSAI CQ1710 TC#1还包括一个自动化的顶端装填的crucible单元和一个手动和电源控制的热源。顶端装载的cruceble机设计为自动化基板装载和转移到加热的腔室。手动和功率控制的热源为扩散、氧化、沉积和生长等一系列过程提供精确和精确的温度控制。该机还具有一系列附件和配置，以容纳各种基板，并允许不同的操作参数，如气流和射频功率水平。其中包括功率调节排气、用于观察基板的工艺监测仪、用于监测固相和液相组成的多元素检测器、用于热测量的热电偶、手动和自动气体气泡以及用于处理基板载体和气体供应的强度控制面板。KOKUSAI CQ1710 TC#1是一种用途广泛、可靠的扩散炉，非常适合研究和设备制造。凭借其先进的顶端装填crucible以及手动和电源控制的热源，它提供了一系列能够处理各种材料的加工参数。它采用优质材料制造,可确保最大的隔热和最小的功耗,是用于要求苛刻的半导体应用的理想仪器。