二手 KOKUSAI CX-3000 #293762962 待售

KOKUSAI CX-3000
製造商
KOKUSAI
模型
CX-3000
ID: 293762962
晶圆大小: 12"
优质的: 2015
Diffusion furnace, 12" P/N: DJ-1223VN Process: ALD SIN Main controller: CX3010 / CX3010B Power supply: 208 V, 1 Phase / 440 V, 3 Phase 2015 vintage.
KOKUSAI CX3000是一种高度先进的扩散炉设备,专门为半导体制造行业中的半导体晶片的精确、均匀热处理而设计。该系统配备了一系列创新功能和配件,确保在各种大批量生产环境中的最佳性能和可靠性。KOKUSAI CX-3000的核心是其最先进的炉膛,该炉膛能够达到并保持高达1200摄氏度的高温,并具有非凡的温度均匀性。该炉室由高纯度石英材料构成,具有优异的热稳定性和耐化学反应性能,保证了加工晶片的完整性。为方便晶片载体装卸到炉膛,CX3000配备了先进的自动晶片处理装置。这台机器结合了先进的机器人技术和精密机制,能够使晶圆传输操作平稳高效,最大限度地降低晶圆在装卸过程中断裂或污染的风险。除了卓越的热性能和晶圆处理能力外,CX-3000还配备了先进的气体输送工具,能够精确控制炉膛内的工艺气氛。这种气体输送资产包括质量流量控制器、压力调节器和气体溷合能力,允许精确供应特定热处理应用所需的各种工艺气体。KOKUSAI CX3000还配备了高度灵敏的温度控制模型,实时监控和调节炉温,以确保晶圆表面的加热和冷却轮廓均匀。这种温度控制设备利用热电偶和反馈回路来保持对炉膛内热梯度的严格控制,最大限度地减少晶圆特性的变化,并确保一致的工艺结果。此外,KOKUSAI CX-3000具有用户友好的界面和软件控制系统,使操作员能够轻松编程和监控热处理配方。直观的图形用户界面提供了对广泛的工艺参数、温度配置文件和气流设置的访问,使用户能够针对特定的半导体器件需求定制和优化热处理条件。为了提高安全性和可靠性,CX3000配备了多种安全联锁、警报和紧急关机机制,确保操作员保护,防止发生机组故障或异常时设备损坏。这些安全功能符合行业标准和法规,使CX-3000成为高精度扩散过程的可靠和安全的平台。最后,KOKUSAI CX3000扩散炉机及配件为寻求在大批量生产环境中实现卓越晶圆加工效果的半导体制造商提供了无与伦比的性能、精度和可靠性。KOKUSAI CX-3000凭借其先进的功能、创新的设计和用户友好的界面,是在热处理技术领域设定新标准的前沿解决方桉。
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