二手 KOKUSAI CX-3000 #293762964 待售
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ID: 293762964
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Diffusion furnace, 12"
P/N: DJ-1206V -DF
Process: SI3N4
Main controller: CX3010 / CX3010B
Power supply: 100V, 1 Phase / 400 V, 3 Phase
2007 vintage.
KOKUSAI CX3000是一种最先进的扩散炉,设计用于在生产环境中对半导体晶片进行精确、均匀的热处理。KOKUSAI CX-3000是一个用途广泛的平台,能够处理各种工艺气体和温度,使其非常适合各种应用,包括掺杂、氧化和退火。CX3000的主要特点之一是高度自动化和过程控制。炉子配有先进的温度控制系统,确保工艺室内的温度均匀性,产生一致且可重复的处理结果。该炉还设计用于最大限度地减少晶圆处理和减少污染风险,从而提高工艺产量和提高设备性能。CX-3000配有各种气体处理系统,可精确控制掺杂剂、氧化剂和惰性气体等加工气体。该炉可以在广泛的压力和流量范围内运行,允许根据应用的具体要求进行灵活的工艺优化。此外,该炉的设计目的是尽量减少气体消耗,减少对环境的影响,使其成为半导体制造的可持续选择。除了先进的过程控制功能外,KOKUSAI CX3000还设计用于易于维护和维修。该炉采用模块化设计,可轻松访问关键部件,减少停机时间并提高生产率。该炉还配备了监测和诊断系统,对工艺参数提供实时反馈,从而能够快速识别和解决问题。KOKUSAI CX-3000还兼容了一系列配件和升级,进一步提升了它的能力。其中包括用于快速热处理的选项、额外的工艺气体模块以及先进的晶圆处理系统。这些配件允许对炉子进行定制,以满足不同应用的独特需求,使CX3000成为半导体制造的高度适应性的工具。总体而言,CX-3000是一个强大而灵活的扩散炉,提供先进的工艺控制、高可靠性和易于维护。KOKUSAI CX3000具有多种多样的功能和与一系列附件的兼容性,对于希望在生产环境中实现高性能处理结果的半导体制造商来说,它是一个经济高效的解决方桉。
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