二手 KOKUSAI CX-3000 #293762989 待售
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ID: 293762989
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Diffusion furnace, 12"
P/N: DD-1223V
Process: BIO
Main controller: CX3010 / CX3010B
Power supply: 208V, 1 Phase / 440 V, 3 Phase
2005 vintage.
KOKUSAI CX3000是为先进的半导体制造工艺而设计的最先进的扩散炉。该工具具有精确控制和高吞吐量功能,为制造尖端半导体器件提供卓越的性能和可靠性。主要功能:1.高温均匀性:KOKUSAI CX-3000具有坚固的加热系统,可确保整个工艺室的温度均匀性。这对于在半导体加工中取得一致和可靠的结果至关重要。2.气流控制:该工具配备了先进的气流控制机制,能够对过程气体进行精确管理。这确保了扩散过程中的最佳化学反应和均匀性。3.多区供暖:CX3000设有多个供暖区,可在扩散过程中进行精确的温度分析。这使用户能够定制热轮廓以满足特定的工艺要求。4.快速加热和冷却:该炉能够快速加热和冷却循环,便于快速过渡过程并缩短整体处理时间。这对于高通量制造环境至关重要。5.流程灵活性:CX-3000提供了广泛的流程功能,使其适合各种扩散应用。无论是掺杂剂扩散、氧化、退火,还是其他热工艺,这种工具都能满足多样化的制造需求。6.用户友好界面:该工具具有直观的用户界面,便于操作和监控扩散过程。操作员可以轻松地对配方进行编程,监控流程参数,并根据需要进行调整。7.坚固的构造:KOKUSAI CX3000采用高质量的材料和部件,确保耐用性和长期可靠性。此工具旨在承受半导体制造环境的严酷,并随时间推移提供一致的性能。配件:除了炉子本身之外,KOKUSAI CX-3000还配有一系列增强其功能和可用性的配件。这些配件可能包括:1.气体输送系统:精密气体输送系统,能够在扩散过程中准确控制过程中的气体。2.温度传感器:高精度温度传感器,用于监视和控制工艺室内的热特性。3.装载系统:机械或机器人装载系统,便于晶片装载和卸载,简化制造过程。4.流程监控工具:提供流程参数实时数据的高级监控工具,使操作员能够做出明智的决策并优化流程性能。总体而言,CX3000扩散炉及其附件为半导体制造商寻求其制造工艺的高性能和可靠设备提供了一个全面的解决方桉。CX-3000具有先进的特性、工艺灵活性和用户友好的设计,是实现精确高效的半导体制造操作的宝贵工具。
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