二手 KOKUSAI CX-5000 #293762572 待售

KOKUSAI CX-5000是专门为生产半导体元件而设计的扩散炉及配件。它为生产高度复杂的设备提供了高水平的效率和精确度。CX-5000基于垂直扩散炉设计，为半导体元件的生产提供了最佳的温度分布范围。模块化的设计可以同时应用低温和高温操作，同时也提供了极好的安全性和控制性。此外，炉子还配有各种炉子配件，可提高自动化程度和精度。该炉配有高温和低温过程双区控制器。这为用户提供了更大范围的处理功能以及对处理条件的精确控制。该炉还配备了安全关闭功能，当温度超过预设限值时可以启动。这样可以确保操作安全并防止部件过热。KOKUSAI CX-5000的设计支持厚度从0.2微米到0.6微米的结构，使其成为制造具有严格控制的热剖面的小型设备的理想选择。该设备配有集成的多区域时钟系统，可实现植入过程的精确定时和同步。此外,CX-5000可以通过可编程的启动和结束温度设置实现完全自动化,从而在众多基板上实现一致的、可重复的结果。该装置具有先进的功能，如自动气流机，可配置为最佳的温度均匀性以及压力调节和净化控制。其他功能包括通过以太网和RS-232接口访问远程监视和控制,以及基于PC的数据日志记录。最后,KOKUSAI CX-5000旨在为各种生产过程提供必要的灵活性。CX-5000利用石英、SiC、SiNx和聚硅氮烷等多种材料进行定制和工艺优化。KOKUSAI CX-5000支持多种可控参数,并为流程工程师提供了多种定制选项。这使得它成为生产复杂设备的理想选择。