二手 KOKUSAI CX-5000 #293762574 待售

KOKUSAI CX-5000是为包括扩散在内的先进热处理而设计的扩散炉及配件。该炉设备非常适合硅沉积和硅化外延等应用。CX-5000具有全过渡金属热壁热处理能力,能够在严格的温度和时间控制下完成高通量过程。KOKUSAI CX-5000的核心是其垂直石英热壁炉。该炉采用电磁控制红外辐射加热器，允许精确的温度和过程控制。该平台专为最大的工艺吞吐量而设计,其快速的热循环时间和温度均匀性在晶圆上达到1-2°C。CX-5000设计具有灵活性,可轻松定制,以适应任何类型的扩散过程或层传输。五种硅基板可用于扩散，系统还附有气体掺杂和CVD的集成气体喷射器单元。该套件包括高效且用户友好的软件套件。这使得研究人员能够对机器进行远程编程和监控，从而无需手动控制和观察。KOKUSAI CX-5000与JGRC的EXPERT工具（实验模式路由资产）完全兼容，允许用户向熔炉发送实验设计进行自动执行。CX-5000具有用于高级热处理的各种其他安全和便利功能,包括自动自我诊断、EMI和RoHS认证组件,以及内置的热切断功能。总体而言，KOKUSAI CX-5000是一种最先进的扩散炉和配件，设计用于先进的热处理的最佳精度和可靠性。它非常适合需要精确温度和时间控制的用户,以及希望最大限度地提高流程吞吐量和灵活性的用户。