二手 KOKUSAI CX-5000 #293762578 待售

KOKUSAI CX-5000
製造商
KOKUSAI
模型
CX-5000
ID: 293762578
晶圆大小: 12"
优质的: 2012
Diffusion furnace, 12" Part number: DJ-1206V -DF Process: SIO2 Main controller: KDSC Power supply: 120 V, 1 Phase / 480 V, 3 Phase 2012 vintage.
KOKUSAI CX-5000扩散炉是一种设计用于快速热处理(RTP)和其他高温扩散过程的高温炉。CX-5000使用真空超高温(VUHT)腔室来扩展高温过程的深度和均匀性,将加工范围从1,000°C增加到1,650°C。KOKUSAI CX-5000采用垂直载荷的3端口设计,并使用非氧化绝缘系统提供快速的热倾斜。该炉为用户提供了大规模扩散过程的最大灵活性和控制,使高纯度材料中的热应力最小化,从而实现了高质量的结果。CX-5000采用高级功能进行设计和构建,为用户提供了一个针对高需求扩散过程的真正强大的解决方桉。先进的腔室设计装有扩散板,以确保温度的均匀性,用户友好的界面允许用户定制配方,以最大程度地控制过程。集成的气体溷合器可实现精确的气体大气控制,而自动冷却功能可在需要时实现快速、有效的冷却。此外,该腔室的灵活使用使高密度产品能够同时退火或快速热处理和扩散处理。KOKUSAI CX-5000的其他功能包括实时显示温度和压力数据、用于一致热输出的微处理器控制电源系统以及确保温度不会超调的冷却保护系统。这些功能共同帮助用户实现其扩散过程的最佳结果,并最大限度地减少散热,从而减少浪费并最大限度地提高效率。此外,CX-5000的小巧尺寸和模块化设计使其易于安装并与现有系统集成。KOKUSAI CX-5000扩散炉是任何规模高温扩散过程的可靠、经济的解决方桉。凭借其先进的功能、灵活的使用和紧凑的设计,CX-5000是一个强大的工具,可实现一致、高质量的结果,且浪费最少。
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